[发明专利]数字X射线检测器和用于其的薄膜晶体管阵列衬底

摘要

本发明涉及数字X射线检测器和用于其的薄膜晶体管阵列衬底。公开了用于数字X射线检测器的薄膜晶体管阵列衬底，其中，可以使由氧化物半导体制成的薄膜晶体管的电特性的劣化最小化并且可以使由外部湿气引起的PIN二极管的老化最小化。此外，公开了包括阵列衬底的数字X射线检测器。为此，阵列衬底包括具有各种图案的第二保护层，以覆盖PIN二极管的至少一部分但不覆盖薄膜晶体管。第二保护层包括SiNx。由此，可以确保从薄膜晶体管的脱氢路径并且可以实现PIN二极管的外部湿气阻挡效果。