[发明专利]一种多晶硅铸锭炉在审
申请号: | 201910899815.0 | 申请日: | 2019-09-23 |
公开(公告)号: | CN110453282A | 公开(公告)日: | 2019-11-15 |
发明(设计)人: | 吴君立;黄纪德;曹瑞宏;龚宇琦;夏志鹏;朱惠君;张昕宇;金浩 | 申请(专利权)人: | 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 薛娇<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
地址: | 314416浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种多晶硅铸锭炉,包括:用于承载铸锭硅料的坩埚;用于支撑坩埚的DS块;可拆卸地设于DS块背离坩埚底部的表面,用于调节坩埚底部热场分布的保温块和散热块;其中,保温块和散热块在所述DS块表面分布位置可调。本申请中在铸锭炉内部,用于支撑坩埚的DS块上设置保温块和散热块,既能够对散热过快的位置保温,又能够对散热过慢的位置加快散热;相对于现有技术中仅仅通过隔热层调节热场温度,本申请中同时采用散热块和保温块进行温度调节,具有更好的调节效果;另外,本申请中保温块和散热块采用可拆卸的方式连接,以便基于铸锭工艺的不同需要,改变保温块和散热块的布局,提高对铸锭炉热场的调节能力。 | ||
搜索关键词: | 保温块 散热块 坩埚 散热 铸锭炉 热场 申请 多晶硅铸锭炉 表面分布 可拆卸的 热场分布 位置可调 温度调节 铸锭工艺 隔热层 可拆卸 硅料 支撑 铸锭 保温 背离 承载 | ||
【主权项】:
1.一种多晶硅铸锭炉,其特征在于,包括:/n用于承载铸锭硅料的坩埚;/n用于支撑坩埚的DS块;/n可拆卸地设于所述DS块背离所述坩埚底部的表面,用于调节所述坩埚底部热场分布的保温块和散热块;/n其中,所述保温块和所述散热块在所述DS块表面分布位置可调。/n
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