[发明专利]一种多晶硅铸锭炉在审

专利信息
申请号: 201910899815.0 申请日: 2019-09-23
公开(公告)号: CN110453282A 公开(公告)日: 2019-11-15
发明(设计)人: 吴君立;黄纪德;曹瑞宏;龚宇琦;夏志鹏;朱惠君;张昕宇;金浩 申请(专利权)人: 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司
主分类号: C30B28/06 分类号: C30B28/06;C30B29/06
代理公司: 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人: 薛娇<国际申请>=<国际公布>=<进入国
地址: 314416浙江省*** 国省代码: 浙江;33
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明公开了一种多晶硅铸锭炉,包括:用于承载铸锭硅料的坩埚;用于支撑坩埚的DS块;可拆卸地设于DS块背离坩埚底部的表面,用于调节坩埚底部热场分布的保温块和散热块;其中,保温块和散热块在所述DS块表面分布位置可调。本申请中在铸锭炉内部,用于支撑坩埚的DS块上设置保温块和散热块,既能够对散热过快的位置保温,又能够对散热过慢的位置加快散热;相对于现有技术中仅仅通过隔热层调节热场温度,本申请中同时采用散热块和保温块进行温度调节,具有更好的调节效果;另外,本申请中保温块和散热块采用可拆卸的方式连接,以便基于铸锭工艺的不同需要,改变保温块和散热块的布局,提高对铸锭炉热场的调节能力。
搜索关键词: 保温块 散热块 坩埚 散热 铸锭炉 热场 申请 多晶硅铸锭炉 表面分布 可拆卸的 热场分布 位置可调 温度调节 铸锭工艺 隔热层 可拆卸 硅料 支撑 铸锭 保温 背离 承载
【主权项】:
1.一种多晶硅铸锭炉,其特征在于,包括:/n用于承载铸锭硅料的坩埚;/n用于支撑坩埚的DS块;/n可拆卸地设于所述DS块背离所述坩埚底部的表面,用于调节所述坩埚底部热场分布的保温块和散热块;/n其中,所述保温块和所述散热块在所述DS块表面分布位置可调。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司,未经浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201910899815.0/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top