[发明专利]一种表面波等离子体发生装置和方法在审
| 申请号： | 201910900645.3 | 申请日： | 2019-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN110505746A | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 孙冰;朱小梅 | 申请（专利权）人： | 大连海事大学 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 21242 大连至诚专利代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 杨威;董彬<国际申请>=<国际公布>=< |
| 地址： | 116000 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种表面波等离子体发生装置，包括依次连接的微波源、环形隔离器、匹配调节器、波导管、耦合变换器、耦合隔离器和反应器，反应器为上底敞开、下底密封的圆柱形筒体，反应器的上底与耦合隔离器的一面固定连接，耦合隔离器的另一面与耦合变换器固定连接，反应器的侧面设有进气管和气压调节装置，气压调节装置用于维持反应器中的低气压环境。本发明还公开了一种表面波等离子体发生的方法，利用前述表面波等离子体发生装置，去掉了现有技术中常用的滤波板，实现多模耦合，在耦合隔离器处实现较大电场，使激发的等离子体密度更大，更均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 反应器 耦合隔离器 表面波等离子体 气压调节装置 耦合变换器 发生装置 等离子体 低气压环境 环形隔离器 匹配调节器 圆柱形筒体 电场 依次连接 耦合 波导管 进气管 滤波板 微波源 多模 密封 敞开 侧面 激发 | ||
【主权项】：
1.一种表面波等离子体发生装置，其特征在于，包括依次连接的微波源(1)、环形隔离器(2)、匹配调节器(3)、波导管(4)、耦合变换器(5)、耦合隔离器(6)和反应器(13)，所述反应器(13)为上底敞开、下底密封的圆柱形筒体，所述反应器(13)的上底与所述耦合隔离器(6)的一面固定连接，所述耦合隔离器(6)的另一面与所述耦合变换器(5)固定连接，所述反应器的侧面设有进气管(14)和气压调节装置(10)，所述气压调节装置(10)用于维持所述反应器(13)中的低气压环境。/n
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