[发明专利]一种反射式点衍射干涉仪针孔对准装置和方法

摘要

本发明公开了一种反射式点衍射干涉仪针孔对准装置和方法。该装置包括分光膜、斜入射反射式点衍射板、粗调光点接收屏、精调成像透镜、精调光斑接收屏、载频干涉图探测器。该对准方法分为以下四个步骤：根据粗调光点接收屏上光点的位置调整装置，使光斑透过点衍射板狭缝；根据精调光斑接收屏上光斑的大小调整系统光轴方向位置；找到光斑中针孔的像，并微调系统位置，将其移动至光斑中心；再次微调系统光轴方向位置，至光斑上出现干涉图样，此时光线已精确聚焦至针孔。本发明降低了目前斜入射反射式点衍射干涉仪对点难度，且准确度高、装置简单。

主权项

1.一种反射式点衍射干涉仪针孔对准装置，其特征在于，该装置包括分光膜(1)、带有针孔的斜入射反射式点衍射板(2)、精调成像透镜(3)、精调光斑接收屏(4)、粗调光点接收屏(5)、载频干涉图探测器(6)，其中；/n待测球面波在焦点会聚之前经过分光膜(1)分为两路会聚光波，其中反射光波会聚至粗调光点接收屏(5)上与斜入射反射式点衍射板(2)针孔共轭的位置，透射光波从斜入射反射式点衍射板(2)前表面再次分为两路光波，从斜入射反射式点衍射板(2)前表面反射的光波作为干涉测量的测试光，从斜入射反射式点衍射板(2)前表面透射的光波再经过后表面反射后，沿原光路返回会聚至斜入射反射式点衍射板(2)前表面针孔位置并再次分为两路光波，其中一路透过斜入射反射式点衍射板(2)的针孔发生衍射形成标准球面波，作为干涉测量的参考光，最终与干涉测量的测试光发生干涉，在载频干涉探测器(6)上形成干涉图，另一路经斜入射反射式点衍射板(2)前表面反射后从斜入射反射式点衍射板(2)后表面透射，再经过精调成像透镜(3)，最终成像至精调光斑接收屏(4)。/n