[发明专利]一种异形工件的曝光装置及曝光方法有效
| 申请号： | 201910901300.X | 申请日： | 2019-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN110727177B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 马迪;吴景舟;陈亮;陈国军;王群;朱鹏飞;孙行;冯梦飞;潘钰 | 申请（专利权）人： | 钧迪智能装备科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 苏州金项专利代理事务所(普通合伙) 32456 | 代理人： | 金星 |
| 地址： | 215100 江苏省苏州市吴中区木渎镇金山南路868号*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种异形工件的曝光装置，包括机座，机座上设置有工作平台，工作平台上滑动安装有由X动力装置驱动的X滑座，X滑座上设置有固定座，固定座上设置有粗定位装置，工作平台上设置有安装架，安装架上沿Y方向滑动安装有由Y动力装置驱动的Y滑座，Y滑座上安装有由调焦动力装置驱动在Z方向调焦的曝光头组件，Y滑座上安装有用于对异形工件进行精定位的精定位检测相机。另外，本发明还公开了使用上述曝光装置的曝光方法，该曝光装置和曝光方法可以对异形工件进行直接激光成像，图像解析度更高，曝光效率更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 异形 工件 曝光 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种异形工件的曝光装置，包括机座，其特征在于：所述机座上设置有工作平台，所述工作平台上沿X方向滑动安装有X滑座，所述X滑座上设置有用于固定异形工件的固定座，所述工作平台和X滑座之间安装有驱动X滑座滑动的X动力装置，所述固定座上设置有用于对异形工件进行粗定位的粗定位装置，所述工作平台上设置有安装架，所述安装架上沿Y方向滑动安装有由Y动力装置驱动的Y滑座，所述Y滑座上安装有由调焦动力装置驱动在Z方向调焦的曝光头组件，所述Y滑座上安装有用于对异形工件进行精定位的精定位检测相机。/n
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