[发明专利]一种陶瓷盘与晶片的清洗贴合一体机在审

专利信息
申请号: 201910902359.0 申请日: 2019-09-24
公开(公告)号: CN110600406A 公开(公告)日: 2019-12-20
发明(设计)人: 魏莹莹;杨杰;蒋君;孔玉朋;宋昌万 申请(专利权)人: 拓思精工科技(苏州)有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种陶瓷盘与晶片的清洗贴合一体机,所述一体机包括清洗装置、数量为至少一组的贴合装置以及位于所述贴合装置一侧的上料装置;所述清洗装置包括上料工位、清洗工位、下料工位以及第一移料组件;所述贴合装置位于所述清洗装置一侧且通过取料组件与所述清洗装置对接,所述贴合装置包括预热工位、贴合工位、冷却工位、出料工位以及第二移料组件;所述上料装置与所述贴合装置数量一致且一一对应,所述上料装置包括储料工位、洗涤工位、甩蜡工位、烘烤工位、翻转工位以及机械手结构。本发明能够同时进行陶瓷盘的清洗操作与蓝宝石晶片的处理操作,而后将处理后的蓝宝石晶片贴合在陶瓷盘表面,从而大大提高蓝宝石晶片的贴合效率。
搜索关键词: 贴合装置 清洗装置 工位 蓝宝石晶片 上料装置 陶瓷盘 贴合 移料组件 一体机 机械手结构 出料工位 处理操作 翻转工位 冷却工位 清洗操作 清洗工位 取料组件 上料工位 数量一致 贴合工位 下料工位 预热工位 烘烤 储料 晶片 洗涤 清洗
【主权项】:
1.一种陶瓷盘与晶片的清洗贴合一体机,其特征在于,所述一体机包括清洗装置、数量为至少一组的贴合装置以及位于所述贴合装置一侧的上料装置;其中:/n所述清洗装置包括上料工位、清洗工位、下料工位以及第一移料组件,所述第一移料组件能够使陶瓷盘在上料工位、清洗工位以及下料工位之间进行运动;/n所述贴合装置位于所述清洗装置一侧且通过取料组件与所述清洗装置对接,所述贴合装置包括预热工位、贴合工位、冷却工位、出料工位以及第二移料组件,所述第二移料组件能够使陶瓷盘在预热工位、贴合工位、冷却工位以及出料工位之间进行运动;/n所述上料装置与所述贴合装置数量一致且一一对应,所述上料装置包括储料工位、洗涤工位、甩蜡工位、烘烤工位、翻转工位以及机械手结构,所述机械手结构能够使晶片在储料工位、洗涤工位、甩蜡工位、烘烤工位以及翻转工位之间进行运动。/n
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