[发明专利]一种用于谐振子Q值测试的真空设备在审
| 申请号： | 201910904918.1 | 申请日： | 2019-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN110726421A | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 崔云涛;王妍妍;刘仁龙;高岩;王泽涛 | 申请（专利权）人： | 中国船舶重工集团公司第七0七研究所 |
| 主分类号： | G01C25/00 | 分类号： | G01C25/00 |
| 代理公司： | 12209 天津盛理知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘英梅 |
| 地址： | 300131 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于谐振子Q值测试的真空设备，包括前级泵、真空阀门、主抽泵、电控可调节插板阀、内设真空腔的真空容器、电磁阀、质量流量控制器、电离规；真空容器上设有第一排气接口和第二排气结构，两排气接口分别连接第一排气支路和第二排气支路；第一排气支路由前级泵和电磁阀通过管路串联构成，电磁阀的进气端与第一排气接口通过管路连接；第二排气支路由前级泵、真空阀门、主抽泵和电控可调节插板阀依次通过管路串联构成，电控可调节插板阀的进气端与第二排气接口通过管路连接；质量流量控制器和电离规分别与设置在真空容器上的控制器接口及真空计接口连接。本真空设备能调节并保持真空度。 | ||
| 搜索关键词： | 排气接口 排气支路 可调节插板 真空容器 电磁阀 前级泵 电控 质量流量控制器 管路串联 管路连接 真空阀门 真空设备 电离规 进气端 主抽泵 控制器接口 真空计接口 排气结构 谐振子 真空腔 测试 | ||
【主权项】：
1.一种用于谐振子Q值测试的真空设备，其特征在于：包括前级泵、真空阀门、主抽泵、电控可调节插板阀、内设真空腔的真空容器、电磁阀、质量流量控制器、电离规；/n所述真空容器上设置有第一排气接口和第二排气结构，两排气接口分别连接第一排气支路和第二排气支路。所述第一排气支路由前级泵和电磁阀通过管路串联构成，且电磁阀的进气端与第一排气接口通过管路连接。所述第二排气支路由前级泵、真空阀门、主抽泵和电控可调节插板阀依次通过管路串联构成，且电控可调节插板阀的进气端与第二排气接口通过管路连接；/n所述质量流量控制器和电离规分别与设置在真空容器上的控制器接口及真空计接口连接。/n
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