[发明专利]测量基材特性的方法及其系统及测量基材的表面的方法在审
| 申请号： | 201910909210.5 | 申请日： | 2019-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN110940832A | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 扈蔚山;桂东;李正中;李哲良;侯敦晖;刘文中 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24;G01Q60/10;G01Q60/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本揭露的一实施例一般是关于一种测量基材特性的方法及其系统及测量基材的表面的方法。测量基材特性的方法包含以扫描式探针显微镜扫描基材，基材上具有鳍，扫描获取的第一图像显示鳍个别的鳍顶区域，在扫描的期间，通过振荡的扫描探针，扫描式探针显微镜与鳍的侧壁的个别的部分相互作用。选择第二图像，以获取鳍的线边缘轮廓，其中第二图像是由鳍顶区域的下方的预定深度所获取。通过处理器架构系统，使用功率频谱密度(power spectral density，PSD)方法分析鳍的线边缘轮廓，以获取鳍的线边缘轮廓的空间频率数据。通过处理器架构系统，基于空间频率数据，计算鳍的线边缘粗糙度。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 基材 特性 方法 及其 系统 表面 | ||
【主权项】：
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