[发明专利]一种研磨头离线测试平台及方法有效
| 申请号： | 201910910803.3 | 申请日： | 2019-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN110553803B | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 叶文君;梁晗 | 申请（专利权）人： | 丰豹智能科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/26 | 分类号： | G01M3/26 |
| 代理公司： | 北京圣州专利代理事务所(普通合伙) 11818 | 代理人： | 朱芳斌 |
| 地址： | 201306 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种研磨头离线测试平台，包括控制箱，所述控制箱内安装有执行机构和检测机构，所述控制箱的内侧壁上分别对称安装有两个第一卡板和第二卡板，两个所述第一卡板和两个第二卡板上分别滑动插设有第一抽板和第二抽板，所述执行机构安装在第一抽板上，所述检测机构安装在第二抽板上；本发明还公开了一种研磨头离线测试方法，包括以下步骤：S1：通气；S2：检测；S3：控制；S4：判断。本发明通过研磨头悬挂安装模拟实际研磨状态测量研磨头的漏气和磨损情况，且在测量时选择多组不同气压进行测量，增加测量的准确性，且多个压力传感器设置在多个可扩展模组条上，减少单个压力传感器测量区域，增加测量的精确度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 研磨 离线 测试 平台 方法 | ||
【主权项】：
1.一种研磨头离线测试平台，包括控制箱(1)，其特征在于，所述控制箱(1)内安装有执行机构和检测机构，所述控制箱(1)的内侧壁上分别对称安装有两个第一卡板(9)和第二卡板(10)，两个所述第一卡板(9)和两个第二卡板(10)上分别滑动插设有第一抽板(3)和第二抽板(11)，所述执行机构安装在第一抽板(3)上，所述检测机构安装在第二抽板(11)上。/n
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