[发明专利]一种基于光程可变的多反射镜激光动态聚焦系统有效

专利信息
申请号: 201910910815.6 申请日: 2019-09-25
公开(公告)号: CN110681991B 公开(公告)日: 2021-05-18
发明(设计)人: 张震;余良 申请(专利权)人: 清华大学
主分类号: B23K26/064 分类号: B23K26/064;B23K26/04;B23K26/70
代理公司: 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 代理人: 李亚南
地址: 100084*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种基于光程可变的多反射镜激光动态聚焦系统,所述基于光程可变的多反射镜激光动态聚焦系统由可调激光聚焦系统、多反射镜动态聚焦系统以及安装基座组成。本发明采用由反射镜构成的可变光程光路系统实现对聚焦系统出射的光束进行光斑位置变焦的功能,在动态变焦的过程中保持光斑尺寸的一致性。本发明采用由透镜组成的可调激光聚焦系统完成对入射激光束的扩束、聚焦功能,所设计的聚焦系统中光学元件相对位置可调,因此可以从工作焦距、光斑尺寸、协同变焦等多个方面对系统进行性能调节。本发明具有光斑一致性好、变焦精度高、加工范围可调等特点。
搜索关键词: 一种 基于 光程 可变 反射 激光 动态 聚焦 系统
【主权项】:
1.一种基于光程可变的多反射镜激光动态聚焦系统,其特征在于,包括可调激光聚焦系统(10)、多反射镜动态聚焦系统(20)以及安装基座(30)。/n
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