[发明专利]一种试验机中使用的平面小规格溅射靶材的绑定方法有效
| 申请号： | 201910912010.5 | 申请日： | 2019-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN110629171B | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 叶开满;陈钦忠;张科;蔡小勇 | 申请（专利权）人： | 福建阿石创新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京易捷胜知识产权代理事务所(普通合伙) 11613 | 代理人： | 蔡晓敏 |
| 地址： | 350200 福建省福州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种试验机中使用的平面小规格溅射靶材的绑定方法，包括以下步骤：步骤一：铜背板和靶胚预处理：分别对铜背板和靶胚的绑定面进行喷砂处理；步骤二：高温胶制备：将双组份硅酮弹性体搅拌；步骤三：绑定处理：选取绑定层，将制备好的高温胶均匀涂覆在铜背板和靶胚的绑定面上；将绑定层铺在已经涂好高温胶的铜背板上；将靶胚的涂胶面向下，使靶胚和铜背板完全贴合；对高温胶进行凝固处理，即完成靶材绑定作业。本发明避免了绑定工序高温作业，减轻劳动强度；低温条件下绑定，避免了铜背板变形，满足靶材平面度要求；绑定材质高温胶失效温度高，满足靶材对高熔点绑定层的要求；操作简单，相比于普通绑定技术效率高，成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 试验 使用 平面 规格 溅射 绑定 方法 | ||
【主权项】：
1.一种试验机中使用的平面小规格溅射靶材的绑定方法，其特征在于，包括以下步骤：/n步骤一：铜背板(1)和靶胚(4)预处理：/na)、绑定面喷砂：分别对铜背板(1)和靶胚(4)的绑定面进行喷砂处理，/n步骤二：高温胶制备：/nd)、将双组份硅酮弹性体进行搅拌3-5分钟，使悬浮液颜色均匀形成高温胶；/n步骤三：绑定处理：/ne)、选取绑定层，/nf)、将铜背板(1)的绑定面朝上；/ng)、将制备好的高温胶均匀涂覆在铜背板(1)和靶胚(4)的绑定面上，/nh)、将绑定层铺在已经涂好高温胶的铜背板(1)上；/nj)、将靶胚(4)的涂胶面向下，采用单边盖合的方式进行靶胚(4)与铜背板(1)的贴合；/nk)、在靶胚(4)的靶表面压重物(6)，初步固定位置；/nl)、调整靶胚(4)位置后进行重新压重物(6)，使靶胚(4)和铜背板(1)完全贴合，厚度正好是绑定层的厚度，使靶胚(4)、绑定层和铜背板(1)接触良好，保证了靶材整体的导电性；/nm)、对高温胶进行凝固处理；/nn)、待高温胶完全凝固后清除多余的高温胶，清除绑定层露出的部分，即完成靶材绑定作业。/n
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