[发明专利]一种用于湿法转移石墨烯薄膜的装置和方法在审
| 申请号： | 201910912398.9 | 申请日： | 2019-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN112551516A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 节喜;卢维尔;夏洋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | C01B32/194 | 分类号： | C01B32/194 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于湿法转移石墨烯薄膜的装置和方法，通过水槽；目标衬底载台，所述目标衬底载台设置在所述水槽内，所述目标衬底载台与所述水槽的底部平行，且所述目标衬底载台与所述水槽的底部具有预定距离，其中，所述目标衬底载台具有通孔；目标衬底，所述目标衬底设置在所述目标衬底载台的上表面；液体流入管，所述液体流入管设置在所述水槽的侧壁下部，且所述液体流入管设置在所述目标衬底载台的下方；液体流出管，所述液体流出管在所述液体流入管的下方，实现大面积转移金属基底的石墨烯，确保石墨烯与目标衬底有较好的接触，降低石墨烯薄膜在转移过程中的破裂，提高转移石墨烯的质量的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 湿法 转移 石墨 薄膜 装置 方法 | ||
【主权项】：
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