[发明专利]真空干燥设备及监控装置在审
| 申请号： | 201910912569.8 | 申请日： | 2019-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN110632073A | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 叶志杰;黄文同;王欣欣;彭锐;贾文斌 | 申请（专利权）人： | 合肥京东方卓印科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;B41J11/00;G01F23/00 |
| 代理公司： | 11438 北京律智知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王辉;阚梓瑄 |
| 地址： | 230012 安徽省合肥市新*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本公开提供一种真空干燥设备及监控装置，涉及成膜工艺技术领域。本公开的监控装置用于对一打印层进行监测，包括监控探头、控制组件和驱动机构。监控探头与打印层正对设置，且包括光路系统、光源和感应组件，光源设有朝向光路系统的出光孔，感应组件设有朝向光路系统的入光孔，光路系统用于在光路系统靠近打印层的一侧形成出光孔的共轭图像，且入光孔与共轭图像共轭；感应组件用于根据进入入光孔的光线输出感应信号。控制组件用于输出控制信号，直至感应信号的强度达到阈值时停止。驱动机构与监控探头连接，用于响应控制信号驱动监控探头向打印层移动。本公开监控装置可对打印层的液面变化进行监控，为调整真空干燥设备提供数据。 | ||
| 搜索关键词： | 光路系统 打印层 监控探头 感应组件 监控装置 入光孔 真空干燥设备 感应信号 控制组件 驱动机构 出光孔 共轭 光源 图像 响应控制信号 成膜工艺 光线输出 输出控制 液面变化 正对设置 阈值时 驱动 监测 监控 移动 | ||
【主权项】：
1.一种监控装置，用于对一打印层进行监测，其特征在于，所述监控装置包括：/n监控探头，与所述打印层正对设置，且包括光路系统、光源和感应组件，所述光源设有朝向所述光路系统的出光孔，所述感应组件设有朝向所述光路系统的入光孔，所述光路系统用于在所述光路系统靠近所述打印层的一侧形成所述出光孔的共轭图像，且所述入光孔与所述共轭图像共轭；所述感应组件用于根据进入所述入光孔的光线输出感应信号；/n控制组件，用于输出控制信号，直至所述感应信号的强度达到阈值时停止；/n驱动机构，与所述监控探头连接，用于响应所述控制信号驱动所述监控探头向所述打印层移动。/n
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