[发明专利]图案化衬底的方法在审
| 申请号： | 201910912605.0 | 申请日： | 2019-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN112241111A | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | 余振华;郭宏瑞;李明潭 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 顾伯兴 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种图案化衬底的方法，包括：将衬底放置在光刻系统的载物台上；测量在所述衬底上的第一位置处所述衬底的第一高度；测量在所述衬底上的第二位置处所述衬底的第二高度；以及对所述衬底执行光刻图案化工艺，包括：将图案化辐射束指向所述衬底；横向移动所述载物台以使所述衬底的所述第一位置与所述图案化辐射束对准；垂直移动所述载物台到第一垂直位置，所述第一垂直位置是基于所述第一高度；横向移动所述载物台以使所述衬底的所述第二位置与所述图案化辐射束对准；以及垂直移动所述载物台到第二垂直位置，所述第二垂直位置是基于所述第二高度。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 衬底 方法 | ||
【主权项】：
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