[发明专利]一种具有铟元素掺杂物的纳米氧化锌在审
| 申请号： | 201910912650.6 | 申请日： | 2019-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN110735109A | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 张训龙;刘艺 | 申请（专利权）人： | 安徽省含山县锦华氧化锌厂 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/34;C23C14/58;C01G9/02;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 238100 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有铟元素掺杂物的纳米氧化锌，包含大于99重量%的锌部分、第一铟元素掺杂物部分和第二钴元素、铜元素掺杂物部分；所述第一铟掺杂物部分和所述第二钴元素、铜元素掺杂物部分以1:1.5重量比存在；所述第一铟元素掺杂物部分和第二钴元素、铜元素掺杂物部分采用射频反应溅射方法掺杂至氧化锌中；将溅射方法制备的氧化锌活化处理成掺杂铟元素的纳米氧化锌。本发明的具有铟元素掺杂物的纳米氧化锌用X射线衍射仪分析纳米氧化锌的晶相显示铟元素掺杂物的纳米氧化锌衍射峰的强度为未掺杂的3.5倍，同时有效的提高纳米氧化锌的结晶质量。 | ||
| 搜索关键词： | 掺杂物 纳米氧化锌 铟元素 铜元素 钴元素 氧化锌 溅射 掺杂 活化处理 射频反应 未掺杂 衍射峰 重量比 铟掺杂 制备 分析 | ||
【主权项】：
1.一种具有铟元素掺杂物的纳米氧化锌，其特征在于：包含大于99重量%的锌部分、第一铟元素掺杂物部分和第二钴元素、铜元素掺杂物部分；/n所述第一铟掺杂物部分和所述第二钴元素、铜元素掺杂物部分以1:1.5重量比存在；/n所述第一铟元素掺杂物部分和第二钴元素、铜元素掺杂物部分采用射频反应溅射方法掺杂至氧化锌中，溅射条件为：溅射前预真空为5-6*Pa,衬底为硅单晶，溅射靶直径为10mm、纯度大于99.99%的金属锌靶，溅射反应气体为氩气和氧气的混合气体；衬底与金属锌靶的间距为50mm，衬底温度为100-300℃；溅射功率为60-200 W；溅射气压为1-3.8 Pa,溅射时间为1-2h；/n将溅射方法制备的氧化锌与水混合配制成质量浓度为5 .8%的纳米氧化锌水悬浮液，超声分散4 ~ 6分钟，然后加入纳米氧化锌质量1 .8%的硫酸铝钾，添加到高速搅拌机中在3200r/min转速下搅拌 1小时，同时2 ~ 3分钟内滴加氢氧化钠溶液，然后转入衬有聚四氟乙烯的反应釜，置于均相反应器中于100 ~ 120℃ 进行反应，反应6 ~ 8h；反应结束后冷却至室温，离心分离、洗涤、烘干，最后得到掺杂铟元素的纳米氧化锌。/n
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