[发明专利]一种具有抑流式喷嘴的真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201910915430.9 | 申请日： | 2019-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN112553578B | 公开（公告）日： | 2022-01-14 |
| 发明（设计）人： | 任三兵;樊俊飞;李山青;张春伟;金小礼 | 申请（专利权）人： | 宝山钢铁股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 上海集信知识产权代理有限公司 31254 | 代理人： | 周成 |
| 地址： | 201900 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有抑流式喷嘴的真空镀膜装置，包括坩埚，其外侧设有感应加热器，所述坩埚顶部通过蒸汽管道连有布流箱体，所述布流箱体内设有一水平向的稳压板，所述布流箱体顶部连有喷嘴，所述蒸汽管道上设有调压阀；所述稳压板为多孔结构，所述稳压板的下表面连有抑流板，所述抑流板也设置为水平向，其侧边与所述布流箱体内壁之间形成间距；所述布流箱体与所述蒸汽管道连接位置至所述稳压板下表面之间形成射流缓和区，所述稳压板上表面至所述布流箱体与所述喷嘴连接位置之间形成射流加速区。本发明使高温蒸汽和低温钢板接触时，在钢板表面形成均匀镀层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 抑流式 喷嘴 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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