[发明专利]一种多层金属薄膜键合层结构及其制备方法有效
| 申请号： | 201910916430.0 | 申请日： | 2019-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN110649153B | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 曹家强 | 申请（专利权）人： | 中电科技集团重庆声光电有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/053 | 分类号： | H01L41/053;H01L41/312;C23C14/18 |
| 代理公司： | 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 | 代理人： | 赵荣之 |
| 地址： | 401332 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明涉及声光器件技术领域，具体涉及一种多层金属薄膜键合层结构及其制备方法，一种多层金属薄膜键合层结构，包括：压电晶片和锗砷硒GeAsSe玻璃，其特征在于，分别在GeAsSe玻璃和压电晶片表面依次镀制Cr、Al、Ti、Sn金属膜层，GeAsSe玻璃的Sn膜层和压电晶片的Sn膜层键合在一起形成Cr、Al、Ti、Sn、Ti、Al、Cr七层金属膜键合层结构。本发明采用Cr、Al、Ti、Sn金属膜层代替传统的Cr、Sn薄膜结构，使得键合层与GeAsSe玻璃之间的的附着力大大增强；压电晶片与GeAsSe玻璃的剪切强度提高；声光器件切割后压电晶片附着牢固，器件可靠性和成品率得到有效提升。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多层 金属 薄膜 键合层 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种多层金属薄膜键合层结构，包括：压电晶片和锗砷硒GeAsSe玻璃，其特征在于，GeAsSe玻璃上表面从下往上依次镀制有Cr、Al、Ti、Sn金属膜层，压电晶片下表面从上往下依次镀制有Cr、Al、Ti、Sn金属膜层，GeAsSe玻璃的Sn膜层和压电晶片的Sn膜层键合在一起形成Cr、Al、Ti、Sn、Ti、Al、Cr七层金属膜键合层结构。/n
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