[发明专利]一种基于MEMS的高精度一体化三维测量系统有效
| 申请号： | 201910916607.7 | 申请日： | 2019-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN110726383B | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 魏永超;陈锋;黎新 | 申请（专利权）人： | 成都市众智三维科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/25 | 分类号： | G01B11/25 |
| 代理公司： | 成都正华专利代理事务所(普通合伙) 51229 | 代理人： | 陈选中 |
| 地址： | 610104 四川省成都市龙泉驿区龙泉街*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于MEMS的高精度一体化三维测量系统。本发明中单一的反射镜使得芯片尺寸可以做得很小，结构紧凑，重量轻。激光点光源通过鲍威尔棱镜入射成像，使光学系统更加简单。MEMS振镜反射率高，大大提高了光能利用率。高速稳定的扫描且宽扫描角足以覆盖被测物体。通过MEMS产生的正弦条纹图精度高，并且相位可以按测量需要实时调整。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 高精度 一体化 三维 测量 系统 | ||
【主权项】：
1.一种基于MEMS的高精度一体化三维测量系统，其特征在于，包括条纹投影子系统、图像采集子系统和系统控制单元，所述条纹投影子系统包括依次连接的LD激光器、鲍威尔棱镜和MEMS一维振镜，所述系统控制单元包括控制芯片、与控制芯片连接的LD激光器驱动和反馈模块、振镜驱动和反馈模块以及相机驱动模块，所述图像采集子系统包括CMOS相机，所述LD激光器驱动和反馈模块与LD激光器连接，所述振镜驱动和反馈模块与MEMS一维振镜连接，所述相机驱动模块与CMOS相机连接，所述MEMS一维振镜用于产生正弦条纹图，所述CMOS相机用于抓拍正弦条纹图。/n
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