[发明专利]一种挠曲式压电微纳晶圆偏摆台

摘要

本发明公开了一种挠曲式压电微纳晶圆偏摆台，包括压电驱动式微位移模块、陶瓷吸盘固定座、陶瓷吸盘和晶圆，所述压电驱动式微位移模块包括基体和安装在基体顶部的铰链主体，铰链主体内置有叠堆式压电陶瓷、挠曲式放大结构与双平行铰链结构，叠堆式压电陶瓷的位移端通过一级位移输入端与挠曲式放大结构输入端相连，挠曲式放大结构与双平行铰链结构通过一级位移输出端连接，二级位移输出端与输出端转接治具通过螺丝进行刚性连接，转接治具顶部固定有柱塞端部和柱塞弹性端，陶瓷吸盘固定座通过销孔与柱塞弹性端连接；本发明采用压电陶瓷作为动力驱动，通过多级位移放大机构对晶圆实现高精度调节。