[发明专利]一种气敏探测模块、制造方法及系统在审
| 申请号： | 201910916894.1 | 申请日： | 2019-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN110726758A | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 耿魁伟;徐志平;刘玉荣 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | G01N27/04 | 分类号： | G01N27/04 |
| 代理公司： | 44326 广州容大专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 刘新年 |
| 地址： | 510000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种气敏探测模块、制造方法及系统，该气敏探测模块，包括半导体基底，在所述半导体基底上集成有若干个气敏传感器阵列单元和外部电路；所述外部电路，用于对外部电压进行分压；所述气敏传感器阵列单元均包括电极阵列和气体探测薄膜阵列；所述气体探测薄膜阵列用于探测环境中的气体种类和浓度；所述电极阵列和所述外部电路相连接，所述气体探测薄膜阵列覆盖在电极阵列上，当气体探测薄膜阵列在遇到敏感气体时，电极阵列用于调整气体探测薄膜阵列的薄膜电阻。通过将气体探测薄膜阵列覆盖在电极阵列上，当气体探测薄膜阵列在遇到敏感气体时，在电极阵列的作用下能够维持薄膜电阻不会发生改变，从而提高探测的精度以及抗干扰能力。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜阵列 气体探测 电极阵列 外部电路 气敏传感器阵列 半导体基底 薄膜电阻 敏感气体 探测模块 抗干扰能力 探测环境 外部电压 分压 覆盖 探测 制造 | ||
【主权项】：
1.一种气敏探测模块，其特征在于，包括半导体基底，在所述半导体基底上集成有若干个气敏传感器阵列单元和外部电路；/n所述外部电路，用于对外部电压进行分压；/n所述若干个气敏传感器阵列单元均包括电极阵列和气体探测薄膜阵列；所述气体探测薄膜阵列用于探测环境中的气体种类和浓度；所述电极阵列和所述外部电路相连接，所述气体探测薄膜阵列覆盖在电极阵列上，当气体探测薄膜阵列在遇到敏感气体时，在电极阵列的作用下能够提升对薄膜阵列电阻变化检测的精度。/n
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