[发明专利]用于在三维物体的表面上沉积金属膜的设备有效
| 申请号： | 201910917037.3 | 申请日： | 2019-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN110965029B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 宋根浩 | 申请（专利权）人： | 股份有限会社太特思 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/50;C23C14/04;C23C14/16 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 刘久亮;黄纶伟 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种用于在三维物体的表面上沉积金属膜的设备，并且更具体地，涉及一种用于在三维物体的表面上沉积金属膜的设备，其中，多个三维物体被安装到安装鼓，使得其要经受沉积的三维表面可面向源靶，并且安装鼓是可旋转的，从而在三维物体的三维表面上沉积具有改进的均匀性和质量的三维金属膜。根据本公开所述的设备包括：安装鼓，该安装鼓可旋转地设置在腔室内部并且具有圆周表面，多个三维物体被安放并安装到该圆周表面上，从而使其要经受沉积的每个表面被暴露于外部；以及至少一个源靶，该至少一个源靶通过溅射使金属膜沉积到安装到安装鼓的三维物体的表面上。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 三维 物体 表面上 沉积 金属膜 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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