[发明专利]一种抛光模修盘周期的检测装置及检测方法在审
| 申请号： | 201910917228.X | 申请日： | 2019-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN110640618A | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 陈军;邵建达;张慧方;吴伦哲;杨明红;吴福林;秦豪杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所;上海恒益光学精密机械有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B37/34;B24B49/12 |
| 代理公司： | 31317 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种抛光模修盘周期的检测装置及检测方法，该装置包括光学检测组件、处理器、水平度测量组件。该装置的光学检测组件使用结构光对抛光模表面形貌进行探测，处理器通过接收的包含抛光模表面形貌信息的探测光，计算处理得到抛光模表面沟槽的深度和宽度信息，从而确定抛光模的修复周期，监测抛光模的维护时间节点。本发明具有结构简单，测量准确，反应迅速，实现对抛光模修盘周期的原位检测，保证抛光模表面的磨削活跃度，提高加工效率和加工质量。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光模 光学检测组件 处理器 表面形貌信息 水平度测量 表面沟槽 表面形貌 计算处理 加工效率 检测装置 宽度信息 时间节点 原位检测 活跃度 结构光 探测光 磨削 探测 测量 修复 监测 检测 加工 保证 维护 | ||
【主权项】：
1.一种抛光模修盘周期的检测装置，包括：抛光盘(2)，所述抛光盘(2)为圆盘或环形盘，位于所述抛光盘(2)表面浇注或粘贴的抛光模(21)，所述抛光模(21)表面开有沟槽(22)；位于所述的抛光盘(2)的上方且与地面固定连接的机架(1)；其特征在于，还包括用于对抛光模(21)的表面形貌进行检测的光学检测组件(3)，处理器(4)，以及用于测量光源(31)水平安装误差的水平度测量组件(5)；/n所述的水平度测量组件(5)包括：激光位移传感器(51)、连接座(52)，以及位于该激光位移传感器(51)正下方的水槽(53)；/n所述的光学检测组件(3)包括：光源(31)和探测装置(32)，所述的光源(31)通过连接座(52)与机架(1)固定连接，用于向抛光模(21)发射探测光，所述的探测装置(32)与机架(1)固定连接，用于接收经所述的抛光模(21)反射的探测光；所述的处理器(4)分别与所述的激光位移传感器(51)和探测装置(32)相连，并处理得到所述的抛光模(21)的表面形貌，确定所述的抛光模(21)的修盘周期。/n
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