[发明专利]涂布系统在审
| 申请号： | 201910917581.8 | 申请日： | 2019-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN111088480A | 公开（公告）日： | 2020-05-01 |
| 发明（设计）人： | 布赖斯·安东;V·戈罗霍夫斯基 | 申请（专利权）人： | 蒸汽技术公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 上海德昭知识产权代理有限公司 31204 | 代理人： | 郁旦蓉 |
| 地址： | 美国科*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种涂布系统，包含涂布室，该涂布室具有外围室壁、顶壁和底壁。该外围室壁、该顶壁和该底壁界定涂布腔体和室中心。等离子体源定位于该室中心处，其中该等离子体源包括中心阴极棒和围绕该中心阴极棒的多个阴极棒。该涂布系统还包含固持待涂布的多个基板的样品固持器。特征是，该样品固持器可在距该室中心第一距离处绕该室中心旋转。 | ||
| 搜索关键词： | 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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