[发明专利]一种太阳能单晶硅的制绒工艺在审

专利信息
申请号: 201910919050.2 申请日: 2019-09-26
公开(公告)号: CN110484972A 公开(公告)日: 2019-11-22
发明(设计)人: 张大鹏 申请(专利权)人: 南通晶耀新能源有限公司
主分类号: C30B33/10 分类号: C30B33/10;C30B29/06
代理公司: 34147 合肥律众知识产权代理有限公司 代理人: 龙海丽<国际申请>=<国际公布>=<进入
地址: 226000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种太阳能单晶硅的制绒工艺,包括以下步骤:一)单晶硅片预清理:首先将单晶硅片依次用碱性溶液和酸洗溶液进行清洗后,再将其放入HF溶液浸泡1min,然后再通过超声波清洗仪进行清洗10~15min,最后经过烘干箱烘干得到清洁的单晶硅片。本发明通过选用十二烷基苯磺酸钠替代IPA,取消IPA的使用,一方面可以提高了制备工艺的环保性,降低了对环境的污染,同时降低了工艺制备难度,并且十二烷基苯磺酸钠同样可以降低制绒溶液的表面张力,增加制绒溶液对单晶硅片的润湿作用,促进气泡快速脱离单晶硅片,并且通过恒温加热搅拌器进行机械消泡,从而加快的消泡处理效率,对制绒工艺的效果进行保证。
搜索关键词: 单晶硅片 十二烷基苯磺酸钠 制绒工艺 制绒 清洗 恒温加热搅拌器 润湿 超声波清洗仪 太阳能单晶硅 处理效率 工艺制备 机械消泡 碱性溶液 酸洗溶液 制备工艺 烘干箱 环保性 放入 烘干 消泡 浸泡 清洁 替代 脱离 污染 保证
【主权项】:
1.一种太阳能单晶硅的制绒工艺,其特征在于,包括以下步骤:/n单晶硅片预清理:首先将单晶硅片依次用碱性溶液和酸洗溶液进行清洗后,再将其放入HF溶液浸泡1min,然后再通过超声波清洗仪进行清洗10~15min,最后经过烘干箱烘干得到清洁的单晶硅片;/n制备制绒溶液:制绒溶液包括以下质量百分比的组分:/nNaOH:0~1.6%;/nKOH:0~1.4%;/n乳酸:1.4~3.6%;/n硅酸钠:0.8~2.4%;/n十二烷基苯磺酸钠:1.8~3.1%;/n偏铝酸盐:0.3~0.6%;/n乙醇胺:0.9~1.7%;/n余量为去离子水;/n添加制绒溶液:将制绒溶液加入进单晶制绒槽内,并通过恒温加热搅拌器对其加热到75~85℃;/n制绒:将步骤一)中的单晶硅片添加到单晶制绒槽内,然后浸泡15~20min,同时利用恒温加热搅拌器对制绒溶液进行搅拌,转速为120~150r/min;/n清洗:将单片硅片从单晶制绒槽内取出并使用等离子水进行清洗。/n
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