[发明专利]鎓盐、抗蚀剂组合物和图案形成方法有效
| 申请号： | 201910920497.1 | 申请日： | 2019-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN110963952B | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 大桥正树;本田和也;须贺祐辉;计良祐纪 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C07C381/12 | 分类号： | C07C381/12;C07C317/12;C07C25/18;C07C317/04;C07C317/08;C07C317/18;C07C317/14;C07C317/24;C07D327/08;C07D333/76;C07D279/20;C07D335/16;C07D339/08 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 贾成功 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明涉及鎓盐、抗蚀剂组合物和图案形成方法。提供具有式(1)的新型鎓盐和包含该鎓盐作为猝灭剂的抗蚀剂组合物。当使用高能辐射通过光刻法加工抗蚀剂组合物时，形成抗蚀剂图案，其在LWR和CDU方面得到改善。在式(1)中，R |
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| 搜索关键词： | 鎓盐 抗蚀剂 组合 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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