[发明专利]利用ALD技术增强修复刻蚀设备部件阳极氧化涂层的方法

摘要

本发明公开了一种利用ALD技术增强修复刻蚀设备部件阳极氧化涂层的方法，其包含：S1，将具有阳极氧化涂层的刻蚀设备部件置于原子层沉积反应器中，通入含铝第一反应气体，进行第一化学吸附，使得第一反应气体吸附至刻蚀设备部件表面；S2，采用氮气流吹扫；S3，通入第二反应气体，进行第二化学吸附；S4，采用氮气流吹扫；S5，重复步骤S1‑S4，直到刻蚀设备部件符合要求。本发明利用ALD镀膜工艺，使阳极氧化涂层中的裂纹愈合，有效地提高了抗腐蚀性能，对刻蚀设备部件进行有效的保护，不仅耐等离子体腐蚀，尤其是耐腐蚀性反应气体腐蚀，且，不涉及硬件变动，使得晶圆片远离金属和颗粒污染，达到稳定运行和延长使用寿命的目的。