[发明专利]一种磁控溅射共沉积铌铜、铌镍合金用于燃料电池双极板的应用在审
| 申请号： | 201910921140.5 | 申请日： | 2019-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN110565062A | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 曾浩恩;谭天明 | 申请（专利权）人： | 宁波丽成真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/02;C23C14/32;H01M8/0208 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种磁控溅射共沉积铌铜、铌镍合金用于燃料电池双极板的应用，可分为以下几个步骤：1）工件脱脂清洁；2）固定与镀件夹具；2）抽真空；3）偏压等离子体清洁；4）阴极电弧结合层；5）Nb铌；6）铌铜合金层或铌镍合金层，使用导电度佳、热稳定性优，耐蚀性佳的铌金属与铜（或镍）金属以磁控溅射的方式共沉积，利用铜、镍再提升铌的导电性，制作导电度加、热稳定性有、耐耐蚀性佳、快速，成本远比金低廉的燃料电池极板工艺，本发明设计合理，可大规模推广。 | ||
| 搜索关键词： | 磁控溅射 热稳定性 铌镍合金 导电度 共沉积 耐蚀性 燃料电池双极板 偏压等离子体 燃料电池极板 导电性 镀件夹具 铜合金层 阴极电弧 清洁 脱脂 抽真空 结合层 铌金属 金属 制作 应用 | ||
【主权项】：
1.一种磁控溅射共沉积铌铜、铌镍合金用于燃料电池双极板的应用，其特征在于，包括一下步骤：/n工件脱脂清洁；/n固定与镀件夹具；/n抽真空；/n偏压等离子体清洁；/n阴极电弧结合层；/nNb铌；/n铌铜合金层或铌镍合金层。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波丽成真空科技有限公司，未经宁波丽成真空科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910921140.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
