[发明专利]真空排气系统在审
| 申请号： | 201910921810.3 | 申请日： | 2019-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN110985884A | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 斋藤政伸;荒井秀夫;岩崎弘一;大须贺透;盐川笃志 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | F17D1/05 | 分类号： | F17D1/05;F17D3/01 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种真空排气系统，其在对内部存在大气压的气体的处理腔室进行抽真空时，能够抑制其他处理腔室中的压力上升。真空排气系统(1)能够用于从处理腔室(PC1、PC2、PC3)排出处理气体。真空排气系统(1)具备多个第一真空泵(BP1、BP2、BP3)、分别与多个第一真空泵(BP1、BP2、BP3)连结的多个缓冲罐(T1、T2、T3)、第二真空泵(MP)、使多个第一真空泵(BP1、BP2、BP3)与第二真空泵(MP)连通的集合管(20)。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 排气 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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