[发明专利]一种真空镀膜靶材用的硫化镉的生产系统及方法在审
| 申请号： | 201910923312.2 | 申请日： | 2019-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN110589873A | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 李灿涛;王鹏年 | 申请（专利权）人： | 陕西东惠光电材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C01G11/02 | 分类号： | C01G11/02 |
| 代理公司： | 61218 西安睿通知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 惠文轩 |
| 地址： | 710089 陕西省西安市国家航*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空镀膜靶材用的硫化镉的生产系统及方法，该硫化镉生产系统，包括通过管道依次连通的硫酸镉反应釜、过滤器、静置桶、硫酸镉加热器和硫化镉反应釜；其中，所述硫化镉反应釜的顶部开设有气孔，所述气孔内装配有硫化氢气体管，所述硫化氢气体管通入所述述硫化镉反应釜的底部。该生产系统结构简单，生产成本低，效率高；其成产方法中直接采用镉锭，原料利用方便；且无需额外加热，耗能低，反应充分，生产方法简单，易操作实施，所得的硫化镉的纯度高(纯度可达99.99％)，适用于企业工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 硫化镉 反应釜 生产系统 硫化氢气体 硫酸镉 过滤器 加热器 生产成本低 额外加热 依次连通 原料利用 真空镀膜 靶材 管通 耗能 镉锭 装配 生产 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜靶材用的硫化镉的生产系统，其特征在于，包括：通过管道依次连通的硫酸镉反应釜(1)、过滤器(2)、静置桶(3)、硫酸镉加热器(4)和硫化镉反应釜(5)；其中，所述硫化镉反应釜(5)的顶部开设有气孔，所述气孔内装配有硫化氢气体管(501)，所述硫化氢气体管(501)通入所述述硫化镉反应釜(5)的底部。/n
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