[发明专利]一种靶材加工装置和加工方法在审
| 申请号： | 201910923533.X | 申请日： | 2019-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN110592540A | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 王传军;闻明;谭志龙;沈月;许彦亭;刘牛;管伟明 | 申请（专利权）人： | 贵研铂业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 53115 昆明今威专利商标代理有限公司 | 代理人： | 赛晓刚 |
| 地址： | 650000 云南省昆明市五华区高*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种靶材的加工装置和加工方法。靶材的加工装置包括夹具、内固定件和外固定件。内固定件包括底板和内定位销，外固定件包括压板和外定位销。靶材加工方法包括：提供夹具，将靶材装夹于夹具上，加工靶材的溅射面；将靶材翻面，在靶材的装配面开设内固定孔；提供底板，在底板上开设内定位孔；采用固定件将靶材固定在底板上；将底板装夹于夹具上，加工靶材的装配面的外曲面；提供压板，在压板上加工配合曲面；在底板开设外固定孔，在压板开设第三固定孔；将靶材固定于底板和压板之间；加工靶材的内曲面和定位槽。本发明的优点是定位精度高，能保证靶材加工的尺寸和精度，同时效率高，成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 底板 压板 夹具 加工 靶材加工 加工装置 内固定件 外固定件 定位销 装夹 定位精度高 外固定孔 定位槽 定位孔 固定件 固定孔 溅射面 内固定 内曲面 外曲面 装配面 翻面 装配 配合 保证 | ||
【主权项】：
1.一种靶材加工装置，其特征在于，所述靶材包括一溅射面和一装配面，所述溅射面为平面，所述装配面包含内曲面、外曲面和若干定位槽，所述靶材加工装置包括：夹具；内固定件和外固定件，/n所述内固定件，包括安置于所述靶材溅射面下方通过夹具夹持的底板和安置于所述靶材装配面内曲面以内的内定位销，用于在加工所述靶材的所述装配面的所述外曲面时将所述靶材固定；/n所述外固定件，包括安置于所述靶材装配面外曲面以外的压板和安置于所述压板上的外定位销，用于在加工所述靶材的所述装配面的所述内曲面和所述定位槽时将所述靶材固定。/n
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