[发明专利]真空吸附装置在审
申请号: | 201910923925.6 | 申请日: | 2019-09-27 |
公开(公告)号: | CN110671325A | 公开(公告)日: | 2020-01-10 |
发明(设计)人: | 王建新 | 申请(专利权)人: | 西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
主分类号: | F04C19/00 | 分类号: | F04C19/00;F04C25/02;F04C27/02;B01D46/10;B01D45/02;B01D50/00 |
代理公司: | 11243 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人: | 许静;刘伟 |
地址: | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明涉及一种真空吸附装置,包括水环真空泵,所述水环真空泵包括入气口,所述水环真空泵的入气口侧设置有通过第一管道连接于所述入气口的气液分离结构。通过设置在水环真空泵入气口侧的气液分离结构,将随着气体吸入的液体被分离出来,从而避免被污染的液体进入到水环真空泵中,这样水环真空泵中的水封用水不必直接排出、可循环使用,避免水资源的浪费,且降低成本。 | ||
搜索关键词: | 水环真空泵 入气口 气液分离结构 真空吸附装置 第一管道 水封用水 可循环 排出 吸入 水资源 污染 | ||
【主权项】:
1.一种真空吸附装置,包括水环真空泵,其特征在于,所述水环真空泵包括入气口,所述水环真空泵的入气口侧设置有通过第一管道连接于所述入气口的气液分离结构。/n
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