[发明专利]离子注入机、聚焦装置以及石墨防护环在审
| 申请号： | 201910926007.9 | 申请日： | 2019-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN112582243A | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 黄和平 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/21 | 分类号： | H01J37/21;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 龙威壮;孙宝海 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提出了离子注入机、聚焦装置以及石墨防护环。该石墨防护环包括：多个石墨块，其中，多个所述石墨块拼接成环形。石墨防护环安装在聚焦装置中用于阻挡部分离子束，由于离子束对石墨防护环各处的照射通常是不均匀的，石墨防护环累计照射量最大处通常会变得最薄，当此处的厚度薄到需要更换石墨防护环时只需要将该处所在的石墨块进行更换即可，不必将整块石墨防护环都进行更换，由此能节约大量的石墨材料，降低了对石墨材料的消耗。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 注入 聚焦 装置 以及 石墨 防护 | ||
【主权项】：
暂无信息
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