[发明专利]一种高精度表面形貌测量机的传感器灵敏度测量方法在审
| 申请号： | 201910926034.6 | 申请日： | 2019-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN110617779A | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 陈梅云;陈锦标;黄建平;余浩燃;林常青;辜晓波;谢胜利 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 44329 广东广信君达律师事务所 | 代理人： | 江金城 |
| 地址： | 510062 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高精度表面形貌测量机的传感器灵敏度测量方法，该测量方法利用准直光束经过非球面反射到透镜光路的原理，推导出利用曲率半径计算灵敏度的公式并实现测量传感器的灵敏度。本方案鉴于现有复光束角度传感器灵敏度测量方法出现的步骤繁琐，精确度低，抗干扰能力差等问题，提供一种操作简单，耗时短，抗干扰能力强的传感器灵敏度测量方法对MBAS进行精确测量，使其精度可以达到理论精度，提高形貌光学测量系统的可靠性和精确性。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 传感器灵敏度 抗干扰能力 灵敏度 形貌 光学测量系统 曲率半径计算 测量传感器 高精度表面 角度传感器 灵敏度测量 透镜光路 形貌测量 准直光束 非球面 推导 反射 耗时 | ||
【主权项】：
1.一种高精度表面形貌测量机的传感器灵敏度测量方法，其特征在于，包括如下步骤：/n步骤S1：激光束经曲率半径为R的非球面反射，其中入射光与反射光之间的夹角为2α，再由焦距为f的透镜聚焦；设透镜的点阵间距为d，透镜与非球面之间的距离为k，两个透镜接触点切平面到入射光与非球面交点位置的距离为c；/n步骤S2：入射角α可用透镜间距d和曲率半径R表示为：/n
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