[发明专利]一种基于IGZO纳米颗粒的ppb级别硫化氢气体传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201910927270.X | 申请日： | 2019-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN110579509A | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 曹宝宝;张凡;谭家宁;李硕 | 申请（专利权）人： | 西南交通大学 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 51304 成都东恒知盛知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 何健雄;廖祥文 |
| 地址： | 610000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于IGZO纳米颗粒的ppb级别硫化氢气体传感器及其制备方法，传感器包括气敏涂层、陶瓷管、金属电极Ⅰ、金属电极Ⅱ、电阻丝，所述金属电极Ⅰ和金属电极Ⅱ平行环绕在所述陶瓷管两端，所述金属电极Ⅰ伸出引脚Ⅰ和引脚Ⅴ，所述金属电极Ⅱ伸出引脚Ⅱ和引脚Ⅵ，所述气敏涂层均匀涂覆在陶瓷管外表面，所述电阻丝螺旋穿过所述陶瓷管，形成引脚Ⅲ和引脚Ⅳ，所述气敏涂层由IGZO纳米颗粒制成，能够探测的硫化氢气体最低浓度较低，且响应和恢复时间较短。 | ||
| 搜索关键词： | 金属电极 引脚 陶瓷管 纳米颗粒 硫化氢气体传感器 电阻丝螺旋 硫化氢气体 伸出 均匀涂覆 传感器 电阻丝 制备 平行 环绕 探测 穿过 响应 恢复 | ||
【主权项】：
1.一种基于IGZO纳米颗粒的ppb级别硫化氢气体传感器，包括，气敏涂层(5)、陶瓷管(4)、金属电极Ⅰ(8)、金属电极Ⅱ(9)、电阻丝(6)，其特征在于：所述金属电极Ⅰ(8)和金属电极Ⅱ(9)平行环绕在所述陶瓷管(4)两端，所述金属电极Ⅰ(8)伸出引脚Ⅰ(1)和引脚Ⅴ(10)，所述金属电极Ⅱ(9)伸出引脚Ⅱ(2)和引脚Ⅵ(11)，所述气敏涂层(5)均匀涂覆在陶瓷管(4)外表面，所述电阻丝(6)螺旋穿过所述陶瓷管(4)，形成引脚Ⅲ(3)和引脚Ⅳ(7)，所述气敏涂层(5)由IGZO纳米颗粒制成。/n
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