[发明专利]一种玻封电压调整二极管、管芯及其制造方法在审
| 申请号： | 201910927602.4 | 申请日： | 2019-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN110911499A | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 刘学明;王华;赵昕;张文敏 | 申请（专利权）人： | 北京时代民芯科技有限公司;北京微电子技术研究所 |
| 主分类号： | H01L29/861 | 分类号： | H01L29/861;H01L23/31;H01L23/29;H01L29/45;H01L29/06;H01L21/56;H01L21/28;H01L21/329;H01L21/60 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 徐晓艳 |
| 地址： | 100076 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种玻封电压调整二极管、管芯及其制造方法。管芯包括硅片和钝化保护层、第一电极和第二电极，硅片的正面周边有弧形缺口，在中央形成岛区，第一电极附着在硅片正面中央岛区上，第二电极附着在硅片的背面，钝化保护层避开第一电极附着在硅片的弧形缺口处，所述钝化保护层为三层复合结构，从硅片向外依次为第一二氧化硅层、PSG层和第二二氧化硅层。二极管在管芯的基础上还包括第一钨柱、第二钨柱、玻璃外罩、第一引线端、第二引线端，第一钨柱、第二钨柱分别与第一电极、第二电极熔接，第一引线端、第一引线端分别与第一钨柱、第二钨柱焊接；玻璃外罩封装在第一钨柱、第二钨柱外侧，用于保护管芯。本发明二极管热阻低、可靠性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电压 调整 二极管 管芯 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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