[发明专利]一种高镜面模具表面CrN涂层制备方法在审
| 申请号： | 201910928132.3 | 申请日： | 2019-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN110592530A | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 杨杰平 | 申请（专利权）人： | 华杰新材料科技(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35;C23C14/46 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215211 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种高镜面模具表面CrN涂层制备方法。该方法采用中频阴极磁控溅射和阳极层离子束技术，以金属Cr为靶材，以N | ||
| 搜索关键词： | 高镜面 制备 阳极层离子束 模具表面 沉积 阴极 耐磨性 磁控溅射 氮气流量 反应气体 施加电压 涂层制备 致密性 靶材 模具 金属 | ||
【主权项】：
1.一种高镜面模具表面CrN涂层制备方法，采用中频阴极磁控溅射和阳极层离子束技术，将清洗处理后的高镜面模具放入镀膜设备的真空腔室，以金属Cr为靶材，真空腔室内部加热，充入氩气和氮气，对表面清洗处理后的高镜面模具施加负偏压，分别对中频阴极磁控溅射Cr靶和阳极层离子束施加电压，在基体表面沉积CrN涂层，其特征是：在沉积过程中，保持中频阴极磁控溅射Cr靶的电压不变，控制阳极层离子束的功率变化趋势和氮气的流量变化趋势，阳极层离子束的功率和氮气的流量分N阶段发生连续变化。第n阶段的初始功率称为n梯度功率，并且在第n阶段保持n梯度功率值一定时间，然后逐渐升高至第n阶段终止功率，第n阶段终止功率等于n+1梯度功率；第n阶段的氮气流量称为n梯度的氮气流量，并且在第n阶段保持n梯度氮气流量值一定时间，然后逐渐升高至第n阶段终止氮气流量，第n阶段终止氮气流量等于n+1梯度氮气流量，所述的n为整数并且1≤n＜N。/n
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