[发明专利]一种类金钢石薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201910928133.8 | 申请日： | 2019-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN110592531A | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 杨杰平 | 申请（专利权）人： | 华杰新材料科技(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/22;C23C14/32;C23C14/02;C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215211 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种类金钢石薄膜的制备方法，包括由基材表面向外依次形成的非金属底层、类金钢石层，底层采用中频阴极磁控溅射技术制备，类金钢石层采用阴极电弧技术和离子束技术交替工作制备，形成两种不同结构的多层纳米薄膜。所述类金刚石层的厚度在80~100nm之间，单层的厚度在5~20nm。本发明设计精巧，结构简单，类金刚石层采用两种不同结构膜层交替堆叠的结构。充分发挥离子束制备膜层的高硬度、高致密性和阴极电弧制备膜层的高韧性的特点。最终形成具有良好的结合力、超高硬度、结构致密的超硬薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 金钢石 类金刚石层 膜层 阴极 磁控溅射技术 阴极电弧技术 非金属底层 离子束技术 超高硬度 超硬薄膜 高致密性 基材表面 交替堆叠 结构膜层 结构致密 纳米薄膜 阴极电弧 高韧性 高硬度 结合力 离子束 单层 多层 薄膜 | ||
【主权项】：
1.一种类金钢石薄膜的制备方法，采用阴极电弧技术和离子束技术，将清洗处理后的产品放置在镀膜设备的真空腔室，真空室内部加热，对清洗处理后的产品施加负偏压，以石墨为靶材，充入氩气或者乙炔，然后进行步骤1，先后对阴极电弧靶和离子束施加电压，在基体表面沉积类金钢石层，其特征是：在沉积过程中，通入氩气，阴极电弧靶电工作一定时间后，切断氩气，关闭阴极电弧靶电源；通入乙炔，开启离子束电源，沉积一定时间，然后重复步骤1，直到类金刚石层达到预定厚度。/n
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