[发明专利]一种多工件离子束抛光系统及方法有效
| 申请号： | 201910928280.5 | 申请日： | 2019-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN110539212B | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 长沙埃福思科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B41/06;B24B41/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 410000 湖南省长沙市开福区青竹湖街道*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多工件离子束抛光系统及方法，包括真空室，所述真空室中设有产生离子束所需的离子源、用于夹持工件的夹具，以及用于加工控制的运动机构，所述夹具上同时夹持有多个工件；该多工件离子束抛光系统及方法，采用了一种多工件夹具，由于一次性装夹多个工件，减去了机器因为单个工件抽真空及调试所需要的时间，可以对多工件同时进行多个面的加工，大大节省了加工时间及加工成本，极大提高了加工效率，本发明的抛光方法，抛光系统中配备有多工位夹具，能够同时装夹多个工件，以进行同时加工，进一步的提高了机器的生产效率，且通过判断多个工件间的距离，采用合适的加工方法，能够实现对同一夹具上工件同时抛光的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 工件 离子束 抛光 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种多工件离子束抛光系统，包括真空室，所述真空室中设有产生离子束所需的离子源、用于夹持工件的夹具，以及用于加工控制的运动机构，其特征在于：所述夹具上同时夹持有多个工件。/n
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