[发明专利]一种菲涅耳波带片的制备方法及菲涅耳波带片在审
| 申请号： | 201910929709.2 | 申请日： | 2019-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN112558206A | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 文庆涛;卢维尔;赵丽莉;夏洋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供的一种菲涅耳波带片的制备方法及菲涅耳波带片，所述方法包括：剥除原料光纤外表的涂覆层，获得预备光纤；对预备光纤进行拉伸，使预备光纤上剥除涂覆层的部分的直径达到目标直径范围，获得拉锥结构；基于拉锥结构的直径均匀度，在拉锥结构上确定至少两个切割位置，对切割位置进行切割获得用于制备菲涅耳波带片的中心结构；在中心结构上交替沉积两种不同的沉积材料，获得沉积薄膜；在沉积薄膜外表面进行镀膜形成保护层，获得波带片结构；利用聚焦离子束微纳加工技术将波带片结果切割并抛光成预设厚度的切片，获得菲涅耳波带片。本发明中所获得的菲涅耳波带片具备大高宽比的特点，其中心结构控制精度高，制备成功率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 菲涅耳 波带片 制备 方法 | ||
【主权项】：
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