[发明专利]一种紧凑型哈特曼波前传感器有效
| 申请号： | 201910929932.7 | 申请日： | 2019-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN110631716B | 公开（公告）日： | 2021-09-21 |
| 发明（设计）人： | 王帅;汤国茂;赖柏衡;杨平;程涛;何星;江炜 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01J9/00 | 分类号： | G01J9/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种紧凑型哈特曼波前传感器，包括孔径分割光学缩束模块阵列、微透镜阵列和相机阵列，孔径分割光束缩束模块阵列对入射光束进行孔径分割和分孔径缩束，将入射的大尺寸光束分割成阵列式的小尺寸子光束，实现前级孔径分割和缩束；微透镜阵列组对每一个缩束后的子光束进行末端孔径分割，实现对单个子光束的波前斜率采样，相机阵列位于每一个子光束微透镜阵列的焦平面，用于探测每一个子光束经过微透镜阵列的光斑阵列图像，将相机阵列所有光斑阵列图像融合即可得到入射光束对应完整的全尺寸光斑阵列图像，最终用哈特曼波前传感器复原算法即可从光斑阵列图像中提取全口径波前斜率数据，重建入射光束的波前相位信息。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 紧凑型 哈特曼波前 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种紧凑型哈特曼波前传感器，其特征在于：该传感器通过多级光学缩束和孔径分割，实现结构的紧凑化；该传感器包括孔径分割多级光学缩束阵列、微透镜阵列组和相机阵列；孔径分割多级光学缩束阵列对入射光束进行多级分孔径和缩束，即上一级分割后的子光束经缩束后又被再次孔径分割，从而将入射的大尺寸光束分级转化成阵列式的小尺寸子光束，微透镜阵列组对每一个缩束后的子光束进行末级的孔径分割，实现对每一个子光束的波前斜率采样，相机阵列位于每一个微透镜阵列的焦平面，用于探测每一个子光束经过微透镜阵列后形成的光斑阵列图像，最终通过哈特曼波前传感器波前复原算法从光斑阵列图像信息提取波前斜率数据，即可完成波前探测。/n
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