[发明专利]一种显微镜检测与激光切割修复模组、方法及装置在审
申请号: | 201910930166.6 | 申请日: | 2019-09-29 |
公开(公告)号: | CN110577372A | 公开(公告)日: | 2019-12-17 |
发明(设计)人: | 马观岚 | 申请(专利权)人: | 江苏才道精密仪器有限公司 |
主分类号: | C03C23/00 | 分类号: | C03C23/00;B23K26/38;G01N21/88;G01N21/958 |
代理公司: | 32224 南京纵横知识产权代理有限公司 | 代理人: | 韩赛 |
地址: | 215300 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开一种显微镜检测与激光切割修复模组,包括基板、滑动板、承载板、显微镜、相机、激光切割器和驱动装置;基板的一侧板面设有直线轨道,滑动板通过直线轨道与基板构成沿直线的滑动连接;承载板固设于滑动板上,驱动装置固设于基板上,其驱动部与承载板固连;显微镜、相机和激光切割器均固设于承载板上,显微镜的物镜的轴线和激光切割器的发射头的轴线均能够平行于承载板的移动方向;显微镜的物镜与相机的输入端建立光线通道以供相机的成像芯片成像。本发明具有的有益效果:通过将检测和修复合二为一进行系统集成,实现了同台设备同时运行的目的,显著提高了作业效率和作业精度。 | ||
搜索关键词: | 承载板 基板 显微镜 激光切割器 滑动板 相机 固设 驱动装置 直线轨道 物镜 显微镜检测 修复 成像芯片 光线通道 滑动连接 激光切割 同台设备 系统集成 移动方向 作业效率 发射头 输入端 板面 固连 模组 成像 平行 驱动 检测 | ||
【主权项】:
1.一种显微镜检测与激光切割修复模组,其特征在于:/n包括基板(6)、滑动板(5)、承载板(3)、显微镜(1)、相机、激光切割器(2)和驱动装置;所述基板(6)的一侧板面设有直线轨道(6.1),所述滑动板(5)通过所述直线轨道(6.1)与所述基板(6)构成沿直线的滑动连接;所述承载板(3)固设于所述滑动板(5)上,所述驱动装置固设于所述基板(6)上,其驱动部与所述承载板(3)固连;所述显微镜(1)、相机和所述激光切割器(2)均固设于所述承载板(3)上,所述显微镜(1)的物镜(1.2)的轴线(I)和所述激光切割器(2)的发射头(2.1)的轴线(II)均能够平行于所述承载板(3)的移动方向(III);所述显微镜(1)的物镜(1.2)与所述相机的输入端建立光线通道以供所述相机的成像芯片成像。/n
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