[发明专利]提供位移信号的耐污染和耐缺陷旋转光学编码器构造有效
| 申请号： | 201910932987.3 | 申请日： | 2019-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN110967047B | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | J.D.托比亚森 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01D5/30 | 分类号： | G01D5/30;G01D5/38 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈金林 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 光学编码器构造包括圆柱形或平面旋转标尺、照明源、结构化照明生成布置(SIGA)和包括光电探测器的探测器布置，该标尺包括偏航光栅条。结构化照明生成布置配置为将源光输入到旋转标尺上的将光衍射到光束偏转器构造的第一照明区域，光束偏转器构造以在接近标尺上第二照明区域处提供特定条纹图案的形式来传送衍射光。标尺过滤并输出光以形成强度带的探测器条纹图案，图案沿旋转测量方向较长，并沿横向于旋转测量方向的探测到的条纹运动方向(DFMD)相对较窄且是周期性的。光电探测器配置为探测作为旋转标尺位移的函数的强度带的位置并提供对应的位移或位置信号。 | ||
| 搜索关键词： | 提供 位移 信号 污染 缺陷 旋转 光学 编码器 构造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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