[发明专利]一种紫外探测器有效

专利信息
申请号: 201910934763.6 申请日: 2019-09-29
公开(公告)号: CN110676340B 公开(公告)日: 2021-05-04
发明(设计)人: 周幸叶;吕元杰;王元刚;谭鑫;韩婷婷;李佳;梁士雄;冯志红 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第十三研究所
主分类号: H01L31/107 分类号: H01L31/107;H01L31/0352
代理公司: 石家庄国为知识产权事务所 13120 代理人: 付晓娣
地址: 050051 *** 国省代码: 河北;13
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摘要: 发明适用于半导体技术领域,提供了一种紫外探测器,所述紫外探测器包括:隔离台面,所述隔离台面包括侧壁为倾斜结构的上部分和侧壁为垂直结构的下部分。其中,所述上部分包括所述紫外探测器的全部的欧姆接触层,所述上部分的最大横截面的直径不大于所述下部分的横截面的直径;其中,所述上部分的纵向剖面为梯形,该梯形的下内角为锐角。本发明能够有效地抑制紫外探测器的侧壁表面的提前击穿,同时提高芯片的填充因子,节约成本。
搜索关键词: 一种 紫外 探测器
【主权项】:
1.一种紫外探测器,其特征在于,所述紫外探测器包括隔离台面,所述隔离台面包括侧壁为倾斜结构的上部分和侧壁为垂直结构的下部分;/n其中,所述上部分包括所述紫外探测器的全部的欧姆接触层,所述上部分的最大横截面的直径不大于所述下部分的横截面的直径;/n其中,所述上部分的纵向剖面为梯形,该梯形的下内角为锐角。/n
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