[发明专利]一种用于轴流式压缩机单轮整体叶盘的涂层装置有效
| 申请号： | 201910936037.8 | 申请日： | 2019-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN110656304B | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 何卫锋;曹鑫;李应红;廖斌;吕长乐;杨竹芳 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军空军工程大学 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/06;C23C14/16;C23C14/48 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 贺小停 |
| 地址： | 710051 陕西省*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供的一种用于轴流式压缩机单轮整体叶盘的涂层装置，包括真空腔和夹具，叶盘通过夹具安装在真空腔内，真空腔的侧壁上布置有四个涂层沉积靶，所述四个涂层沉积靶分别为第一靶、第二靶、第四靶和第五靶，其中，第二靶和第四靶置于叶盘的进气边一侧；第一靶置于叶盘的排气边一侧；第五靶置于叶片叶尖一侧；本发明的应用，可大幅提高复杂环境下轴流式单轮整体叶盘的可靠性和使用寿命，具有显著的经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 轴流 压缩机 整体 涂层 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于轴流式压缩机单轮整体叶盘的涂层装置，其特征在于，包括真空腔和夹具，叶盘通过夹具安装在真空腔内，真空腔的侧壁上布置有四个涂层沉积靶，所述四个涂层沉积靶分别为第一靶(41)、第二靶(44)、第四靶(47)和第五靶(49)，其中，第二靶(44)和第四靶(47)置于叶盘的进气边一侧；第一靶(41)置于叶盘的排气边一侧；第五靶(49)置于叶片叶尖一侧。/n
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