[发明专利]半导体装置在审

专利信息
申请号: 201910937461.4 申请日: 2014-12-17
公开(公告)号: CN110676324A 公开(公告)日: 2020-01-10
发明(设计)人: 山崎舜平;肥塚纯一;神长正美;岛行德;羽持贵士;中泽安孝 申请(专利权)人: 株式会社半导体能源研究所
主分类号: H01L29/786 分类号: H01L29/786;H01L27/12
代理公司: 72001 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 李啸;杨美灵
地址: 日本神奈*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 提供一种包括使用氧化物半导体并通态电流大的晶体管的半导体装置。一种半导体装置,包括:设置在驱动电路部中的第一晶体管;以及设置在像素部中的第二晶体管,其中,第一晶体管的结构和第二晶体管的结构互不相同。此外,第一晶体管及第二晶体管为顶栅结构的晶体管,被用作栅电极、源电极及漏电极的导电膜不重叠。此外,在氧化物半导体膜中,在不与栅电极、源电极及漏电极重叠的区域中具有杂质元素。
搜索关键词: 晶体管 半导体装置 漏电极 源电极 栅电极 氧化物半导体膜 氧化物半导体 顶栅结构 驱动电路 通态电流 杂质元素 不重叠 导电膜 像素部
【主权项】:
1.一种半导体装置,具有:/n具有沟道形成区域的氧化物半导体膜;/n在所述氧化物半导体膜的下方隔着第一绝缘膜配置并且具有与所述沟道形成区域重叠的区域的第一导电膜;/n在所述氧化物半导体膜的上方隔着第二绝缘膜配置并且具有与所述沟道形成区域重叠的区域的第二导电膜;以及/n与所述氧化物半导体膜电连接并且由与所述第二导电膜同一层构成的源电极及漏电极,/n在与所述氧化物半导体膜的沟道长度方向平行的截面视图中,所述第一导电膜的宽度比所述第二导电膜的宽度大。/n
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