[发明专利]沉积装置在审
| 申请号： | 201910938890.3 | 申请日： | 2019-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN110983247A | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 高晙赫;金义圭;李尚玟;闵秀玹;宋珉澈;洪承柱 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 梁洪源;康泉 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种沉积装置，包括：腔室；腔室中的掩模组件，该掩模组件被配置为使目标基板安置在掩模组件上并且包括在一个方向上排列的多个掩模；沉积源，该沉积源面对腔室中的掩模组件并且包含沉积材料；连接到沉积源并且被配置为朝向掩模组件注入沉积材料的多个喷嘴；以及面对掩模组件的按压部件，目标基板在按压部件和掩模组件之间，该按压部件被配置为朝向多个掩模提供按压力并且包括：具有板形状并且与多个掩模重叠的按压板；以及在按压板下面的多个电极部件，其中具有彼此不同的幅度的电压被分别施加到多个电极部件。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星显示有限公司，未经三星显示有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910938890.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：单电池的接触方案
- 下一篇：注塑成形机以及注塑成形机的螺杆控制方法
- 同类专利
- 专利分类
