[发明专利]一种高密度压电打印头的集成制造方法有效
| 申请号： | 201910939030.1 | 申请日： | 2019-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN110588178B | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 邵金友;严超;王春慧;田洪淼;杨正杰;王小培;平鹏祥 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | B41J2/16 | 分类号： | B41J2/16 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种高密度压电打印头的集成制造方法，先键合振动板与喷嘴板，然后制备PZT压电薄膜图形化功能层，释放并拾取PZT压电薄膜图形化功能层，最后完成PZT压电薄膜图形化功能层的转移，在已完成键合的振动板上表面涂覆或旋涂有机粘结材料，将PDMS拾取的PZT压电薄膜图形化功能层完成对准进行黏合，完成PZT压电薄膜图形化功能层的转移，得到高密度压电打印头；本发明PZT薄膜与振动板的集成在打印头结构部分键合完成后再进行，避免了键合过程对PZT压电薄膜性能的影响，既可以保证所需求的键合强度，也能保持PZT压电薄膜良好的压电性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高密度 压电 打印头 集成 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种高密度压电打印头的集成制造方法，其特征在于，包括以下步骤：/n第一步，键合振动板与喷嘴板：设计并完成打印头振动板与喷嘴板的制造，通过键合工艺完成振动板与喷嘴板的集成；/n第二步，制备PZT压电薄膜图形化功能层：在衬底上制备下电极/PZT压电薄膜/上电极多层结构并完成其图形化，得到PZT压电薄膜图形化功能层；/n第三步，释放并拾取PZT压电薄膜图形化功能层：在PZT压电薄膜图形化功能层上旋涂覆盖PDMS，加热固化；通过腐蚀衬底中的SiO
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安交通大学，未经西安交通大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910939030.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
