[发明专利]版图各区域内的刻蚀沟槽深度的模拟获取方法有效
| 申请号： | 201910940769.4 | 申请日： | 2019-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN110674609B | 公开（公告）日： | 2023-06-13 |
| 发明（设计）人： | 张姣;姜立维;魏芳 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/3308 | 分类号： | G06F30/3308;G06F30/39 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 郭四华 |
| 地址： | 201315 上海市浦东新区中国（上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种版图各区域内的刻蚀沟槽深度的模拟获取方法，包括步骤：以独立多边形为单元对版图进行划分；计算各独立多边形的权重线宽；将各独立多边形的权重线宽代入到刻蚀模型中计算得出各独立多边形对应的第一刻蚀沟槽深度；采用窗格切分法对版图进行切分；计算出各窗格的窗格刻蚀沟槽深度，包括分步骤：将窗格内各子图形对应的子图形刻蚀沟槽深度取为所属的独立多边形的第一刻蚀沟槽深度；以各子图形的面积为权重，对窗格内各子图形对应的子图形刻蚀沟槽深度进行加权平均得到窗格刻蚀沟槽深度。本发明能够避免直接以窗格为单元计算得出的刻蚀沟槽深度与实际沟槽深度之间的偏差；能够提高化学机械研磨工艺模型的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 版图 各区 域内 刻蚀 沟槽 深度 模拟 获取 方法 | ||
【主权项】：
1.一种版图各区域内的刻蚀沟槽深度的模拟获取方法，其特征在于，包括如下步骤：/n步骤一、版图由多个图形组成，各所述图形的轮廓线为对应的独立多边形，以各所述独立多边形为对应的单元对所述版图进行划分；/n步骤二、计算各所述独立多边形的权重线宽；/n步骤三、将各所述独立多边形的权重线宽代入到刻蚀模型中计算得出各独立多边形对应的第一刻蚀沟槽深度；/n步骤四、采用窗格切分法将所述版图切分成多个大小相同的窗格，各所述独立多边形对应的所述图形被切割成一个以上位于对应的所述窗格中的子图形；/n步骤五、计算出各所述窗格的窗格刻蚀沟槽深度，包括如下分步骤：/n步骤51、将所述窗格内所包括的各所述子图形对应的子图形刻蚀沟槽深度取为各所述子图形所属的所述独立多边形的所述第一刻蚀沟槽深度；/n步骤52、以各所述子图形的面积为权重，对所述窗格内所包括的各所述子图形对应的子图形刻蚀沟槽深度进行加权平均得到所述窗格刻蚀沟槽深度。/n
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