[发明专利]一种纳米线气体传感器及其制造方法在审
| 申请号： | 201910942212.4 | 申请日： | 2019-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN110618182A | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 黄辉;赵丹娜;尚瑞晨;段海波;吴海宁 | 申请（专利权）人： | 深圳市微纳集成电路与系统应用研究院 |
| 主分类号： | G01N27/407 | 分类号： | G01N27/407;B82Y15/00 |
| 代理公司： | 44414 深圳中一联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 汪海琴 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于电子技术领域，公开了一种纳米线气体传感器及其制造方法，纳米线气体传感器包括衬底和多根纳米线，多根纳米线设置在衬底的上表面，每个纳米线的两端均设置有电极，多根纳米线的表面分别覆盖多种表面修饰层；通过单根纳米线(或有限根数的纳米线)形成独立纳米线器件，从而形成纳米线器件阵列。通过多根纳米线的表面分别覆盖多种表面修饰层，使得不同的纳米线器件具备不同的气体响应特性，从而实现气体成分识别。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米线 纳米线器件 表面修饰层 气体传感器 衬底 电子技术领域 气体成分识别 单根纳米线 响应特性 上表面 电极 覆盖 根数 制造 | ||
【主权项】：
1.一种纳米线气体传感器，其特征在于，所述纳米线气体传感器包括衬底和多根纳米线，多根所述纳米线设置在所述衬底的上表面，每个所述纳米线的两端均设置有电极，多根所述纳米线的表面分别覆盖多种表面修饰层。/n
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