[发明专利]一种实现低电子剂量高分辨成像的光阑、装置及方法在审
| 申请号： | 201910942563.5 | 申请日： | 2019-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN110687142A | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 王鹏;严宇杰;宋佳美 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | G01N23/20008 | 分类号： | G01N23/20008;G01N23/20058;G01N23/2055 |
| 代理公司： | 32346 江苏瑞途律师事务所 | 代理人： | 金龙 |
| 地址： | 210023 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种实现低电子剂量高分辨成像的光阑、装置及方法，属于显微成像领域。针对现有技术中由于某些对电子较为敏感的样品在荷电粒子束流剂量较大的情况下会受到严重的辐照损伤而影响观测，而减小光阑孔径会导致荷电粒子束流会聚角减小而降低成荷电粒子束流像分辨率的问题，本发明提供了一种实现低电子剂量高分辨成像的光阑、装置及方法，该装置包括依次设置的电子束发射枪、会聚镜、会聚镜光阑、扫描控制装置和探测器，通过会聚镜光阑的光线经过样品形成衍射图样，通过基于实现低电子剂量高分辨成像装置的成像方法重构出高分辨率图像，在不影响观测分辨率的前提下减少相同时间内辐照到样品的电子剂量，实现低电子剂量高分辨率的成像效果。 | ||
| 搜索关键词： | 光阑 高分辨成像 荷电粒子 会聚镜 束流 分辨率 减小 观测 高分辨率图像 扫描控制装置 电子束发射 辐照 成像效果 辐照损伤 高分辨率 光阑孔径 显微成像 衍射图样 样品形成 依次设置 会聚角 探测器 重构 成像 敏感 | ||
【主权项】：
1.一种实现低电子剂量高分辨成像的光阑，其特征在于：会聚镜光阑(3)上有透光区域，透光区域的实际面积小于以透光区域最大外径所形成的圆形面积。/n
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